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Bei Schwingkörpern, die in einem Verfahren zur Serienherstellung von piezoelektrischen Schwingkörpern nach der Erfindung hergestellt werden, wird die Frequenz exakt, leicht und effizient eingestellt, ohne dass dieser Vorgang von der Grösse des Schwingkörpers beeinflusst wird, und die Wartung der Schwingkörper ist weniger kostspielig. Es wird ein Verfahren zur Serienfertigung von Schwingkörpern beschrieben; in diesen befinden sich eine piezoelektrische Platte (11), ein Paar Erregerelektroden (12, 13) und ein Paar Anschlusselektroden (15, 16). Im Verfahren wird ein Wafer verwendet, auf dem zunächst der Rahmen mehrerer piezoelektrischer Platten, die über ein Verbindungsstück mit dem jeweiligen Rahmen verbunden sind, ausgeätzt wird. Sodann werden im folgenden Schritt paarweise Erregerelektroden und Anschlusselektroden sowie Paare von verlängerten Elektroden an allen Platten gleichzeitig erzeugt. Diese letzteren Elektroden sind über das Verbindungsstück mit jeweils einer Anschlusselektrode aller piezoelektrischen Platten elektrisch verbunden. Es folgt ein Schritt zur Einstellung der Schwingfrequenz, bei dem eine Erregerspannung an die verlängerten Elektroden angelegt wird. Schliesslich werden nach der Frequenzeinstellung die piezoelektrischen Platten vereinzelt. |
