| 发明名称 | 基板保持架、基板保持单元、基板搬送装置和基板贴合装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板保持架、基板保持单元、基板搬送装置和基板贴合装置，在基板保持架上保持基板的状态下可靠地搬送。基板保持架，利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板，并在保持基板的状态下被搬送，具备：载置基板的保持架主体；和从保持架主体露出，并相对于外部的电力供给端子装卸自如的连接端子。此外，基板搬送装置，用于对利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板的基板保持架进行搬送，具备：具有供基板保持架载置的载置面，用于保持基板保持架的载置部；和向载置于载置面的基板保持架供电的电力供给端子。 | ||
| 申请公布号 | CN103227136A | 申请公布日期 | 2013.07.31 |
| 申请号 | CN201310020980.7 | 申请日期 | 2009.03.13 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 前田荣裕;吉桥正博 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李洋;杨林森 |
| 主权项 | 一种基板保持架，其利用由来自外部的供电产生的静电力保持基板，并在保持着基板的状态下被搬送，其特征在于，具备：载置所述基板的保持架主体；和从所述保持架主体露出，并相对于外部的电力供给端子装卸自如的连接端子。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||