压阻式高频高温动态压力传感器

摘要

一种压阻式高频高温动态压力传感器，由压阻敏感组件、传感器金属壳体和高频宽带放大器组成，压阻敏感组件由硅压阻敏感元件和玻璃环片组成，硅压阻敏感元件由圆平硅膜片形成，圆平硅膜片正面依次覆盖SiO2层和Si3N4层，硅压阻敏感元件正面中部设有惠斯顿电桥而周部裸露出硅膜片后焊固于玻璃环片的一面，硅压阻敏感元件反面形成金属反光膜，惠斯顿电桥上应变电阻用丝内引线引出，璃环片另一面固定于陶瓷隔离基座上环形凹坑面，陶瓷隔离基座又烧结固定于传感器金属壳体的进压端口，压阻敏感组件上金丝内引线引入到传感器内腔室中的转接板后，经过高频宽带放大器信号放大，由传感器尾部输出电缆引出，本发明能在承受超高温和超高频冲击下仍然具有良好特性。

主权项

一种压阻式高频高温动态压力传感器，由压阻敏感组件和传感器金属壳体组成，其特征在于：1)该压阻敏感组件由硅压阻敏感元件(1)和玻璃环片(2)组成，该硅压阻敏感元件(1)由圆平硅膜片(11)形成，圆平硅膜片(11)正面依次覆盖有SiO2层(12)和Si3N4(13)层，该硅压阻敏感元件正面中部设有惠斯顿电桥，而周部裸露出硅膜片后，焊固于与硅有相似热膨胀系数的该玻璃环片(2)的一面，该硅压阻敏感元件(1)反面通过真空蒸镀或磁控溅射形成金属反光膜，该惠斯顿电桥上应变电阻通过焊接金丝内引线(15)引出；2)该玻璃环片(2)另一面通过低温玻璃浆糊烧结或者通过高温粘胶剂粘接固定于陶瓷隔离基座(3)上设有的环形凹坑面，该陶瓷隔离基座(3)又通过低温玻璃浆糊烧结固定于该传感器金属壳体的进压端口，该压阻敏感组件上金丝内引线(15)通过该陶瓷隔离基座(3)之环形凹坑面上的中心孔，引入到该传感器内腔室中的转接板(4)后，由该传感器尾部的输出电缆(9)引出。