基板架以及电镀装置

摘要

本发明提供一种即使基板的厚度发生变化，也能够防止基板发生挠曲并吸收基板的厚度的变化，以将基板密封构件的压缩尺寸保持在更为恒定的范围内的状态来保持基板的基板架以及配备有该基板架的电镀装置。该基板架包括：第1保持构件（54）和第2保持构件（58），其夹持基板W的外周部并装卸自如地保持基板W；以及基板密封构件（66），其被安装在第2保持构件（58），当由第2保持构件（58）与第1保持构件（54）保持基板W时，沿着基板密封线（64）对第2保持构件（54）与基板W的外周部之间进行密封，第1保持构件（54）具有：厚度吸收机构（88），其当在第1保持构件（54）与第2保持构件（58）之间夹持基板W的外周部并保持基板时，在沿着基板密封线（64）的位置处，通过向着第2保持构件（58）对基板W施力来吸收基板W的厚度的变化，例如具有可动基座（82）和压缩弹簧（86）。

主权项

一种基板架，其特征在于，具有：第1保持构件以及第2保持构件，其夹持基板的外周部并装卸自如地保持基板；基板密封构件，其被安装在所述第2保持构件上，当由所述第2保持构件与所述第1保持构件保持基板时，沿着基板密封线对所述第2保持构件与基板的外周部之间进行密封，所述第1保持构件具有厚度吸收机构，其当在所述第1保持构件与所述第2保持构件之间夹持基板的外周部地保持基板时，在沿着所述基板密封线的位置通过使基板向着所述第2保持构件施力来吸收基板的厚度的变化。