形状测定装置、结构的制造方法以及结构制造系统

摘要

提出一种形状测定装置，其即使是利用配置光学式测定探针的栅形框架的结构，仍然能够针对各种物体执行最佳测定。该形状测定装置包含投射单元，其自投射方向将图案投射至物体之上；测定单元，其自异于该投射方向的方向拍摄该图案的影像，以根据由拍摄影像取得的影像数据，测定该物体表面上的位置；物体旋转单元，其在两个方向上旋转该物体；以及图案旋转单元，其旋转该图案。

主权项

一种形状测定装置，测定物体的形状，其特征在于其包含：投射单元，将图案自投射方向投射于该物体之上；测定单元，自异于该投射方向的方向拍摄该图案的影像，以根据利用该拍射影像取得的影像数据，测定该物体的表面上的位置；物体旋转单元，于两个方向上旋转该物体；以及图案旋转单元，相对于该物体旋转单元旋转该图案。