用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置

摘要

本实用新型是一种用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，包括第一连接座，与电子显微镜的待抽真空口固定连接；第二连接座，与所述第一连接座相对设置，且与真空泵的抽气口连接；弹性隔离管，安装于所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述待抽真空口和所述抽气口连通；支撑隔振柱（4），用于承重和吸振，设置在所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述第一连接座和所述第二连接座的端面固定连接。本实用新型通过采用吸收真空泵振动的方式有效降低了真空泵振动对电子显微镜成像分辨率的影响。

主权项

用于真空泵与电子显微镜间的隔振装置，其特征在于:包括第一连接座，与电子显微镜的待抽真空口固定连接；第二连接座，与所述第一连接座相对设置，且与真空泵的抽气口连接；弹性隔离管，安装于所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述待抽真空口和所述抽气口连通；支撑隔振柱（4），用于承重和吸振，设置在所述第一连接座与所述第二连接座之间，且其两端分别与所述第一连接座和所述第二连接座的端面固定连接。