后放大数字全息显微表面微小疵病测量装置及方法

摘要

本发明涉及一种后放大数字全息显微表面微小疵病测量方法及装置。本发明采用短相干光源，通过斜入射的方式，获得光学元件表面微小疵病的散射光信息，并与参考光束发生干涉；然后通过后放大的方式放大干涉图像信息并通过CCD相机接收，最终通过数字全息原理计算分析表面微小疵病的形貌以及深度分布的量化信息。本发明装置主要用于实现光滑的光学元件表面微小疵病的检测。该检测装置可以通过采集单幅图像经过相关的处理获得表面疵病的深度和相位信息；可以区分光学元件表面的灰尘和凹陷；能够动态快速的测量。该发明装置提出采用平行光照射和离轴全息技术，并构成后放大数字全息记录系统，动态性能好，并具有非破坏性和信息量化性的特点。

主权项

一种后放大数字全息显微表面微小疵病测量装置，其特征在于，包括激光器（1）、凸透镜（2）、第一分光棱镜（3）、参考镜（5）、显微物镜（6）和CCD摄像机（7）；所述凸透镜（2）、第一分光棱镜（3）和参考镜（5）的水平中心轴与激光器（1）所发出的光束的中心轴在同一条水平直线上；待测工件（4）的待检测位置、第一分光棱镜（3）、显微物镜（6）和CCD摄像机（7）在同一条竖直线上，且和激光器所发出的光束的中心轴相交于分光棱镜的中心点；激光器（1）、凸透镜（2）和第一分光棱镜（3）的竖直中心轴相互平行；第一分光棱镜（3）、显微物镜（6）和CCD摄像机（7）的水平中心轴相互平行。