基板定位装置

摘要

本发明提供了一种基板定位装置，所述基板定位装置包括：支承单元，所述支承单元用于将基板支承就位；光发射单元和光接收单元，所述光发射单元和所述光接收单元分别布置在所述基板的主面两侧并彼此相对；发光控制单元，所述发光控制单元被配置为依据控制值控制所述光发射单元的发光量；以及检测单元，所述检测单元用于检测由所述光接收单元接收到的光接收量。所述基板定位装置还包括调节单元，所述调节单元用于在所述基板没有被所述支承单元支承时依据所述光接收量来控制所述控制值。

主权项

一种基板定位装置，所述基板定位装置包括：支承单元，所述支承单元用于将基板支承就位；光发射单元和光接收单元，所述光发射单元和所述光接收单元分别布置在所述基板的主面两侧并彼此相对；发光控制单元，所述发光控制单元被配置为依据控制值控制所述光发射单元的发光量；检测单元，所述检测单元用于检测由所述光接收单元接收到的光接收量；以及调节单元，所述调节单元用于在所述基板没有被所述支承单元支承时依据所述光接收量来控制所述控制值。