薄膜太阳能电池制造装置

摘要

一种薄膜太阳能电池制造装置，具有：成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；放入取出室，与成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；移动轨道，铺设于成膜室和放入取出室；托架，保持基板并沿着移动轨道移动；以及使托架移动的托架移送机构，托架移送机构设置在放入取出室，使托架在成膜室与放入取出室之间移动。

主权项

一种薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，具有：成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；放入取出室，与所述成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；移动轨道，铺设于所述成膜室和所述放入取出室；托架，以所述基板的被成膜面与重力方向平行的纵姿势保持所述基板并沿着所述移动轨道移动；以及使所述托架移动的托架移送机构，所述托架移送机构设置在所述放入取出室，使多个所述托架同时从所述放入取出室向所述成膜室、以及从所述成膜室向所述放入取出室移动，所述托架移送机构包括：卡止部，用于卡止所述托架；一对引导部件，设置在所述卡止部的两端，与所述移动轨道平行配置；以及移动装置，使所述卡止部沿着所述引导部件移动，所述移动装置具备移动臂。