高纯混合气自动配制装置

摘要

本实用新型公开了一种高纯混合气自动配制装置，包括气体检测通道、分别与PLC控制器连接的混配器、缓冲罐和分析仪，及若干过滤器；所述混配器、缓冲罐、气体检测通道、分析仪依次连接；所述混配器的输入端与两个过滤器连接。该高纯混合气自动配制装置的混配器能够准确地控制进入其的两种气体的比例，分析仪能够实时的对配制后的混合气体进行监测分析，若气体纯度及比例达不到要求，分析仪将相关监测信息发送给PLC控制器，PLC控制器控制混配器关闭的同时提醒工作人员检查混配器，从而保证了配制出来的混合气体的纯度和比例的精确控制。

主权项

一种高纯混合气自动配制装置，其特征在于：包括气体检测通道（4）、分别与PLC控制器（6）连接的混配器（2）、缓冲罐（3）和分析仪（5），及若干过滤器（1）；所述混配器（2）、缓冲罐（3）、气体检测通道（4）、分析仪（5）依次连接；所述混配器（2）的输入端与两个过滤器（1）连接。2、根据权利要求1所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：所述混配器（2）与气体检测通道（4）之间还设置有一条混合气回收管道（c）。3、根据权利要求1或2所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：所述混配器（2）包括第一气体通道（a）、第二气体通道（b）、混合阀和电磁阀，所述第一气体通道（a）和第二气体通道（b）的输入端各连接有一个过滤器（1），第一气体通道（a）和第二气体通道（b）的输出端均与混合阀连接；所述电磁阀的一端与混合阀连接，另一端与缓冲罐（3）连接；所述混合气回收管道（c）的输出端与第一气体通道（a）的输出端连接。4、根据权利要求1或2所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：所述气体检测通道（4）包括混合气通道（f）及依次连接在一起的三通电磁阀、压力调节阀和过滤器（1）；所述混合气通道（f）的输入端与缓冲罐（3）连接，其输出端分别与混合气回收管道（c）的输入端和三通电磁阀连接。5、根据权利要求4所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：所述气体检测通道（4）还包括一条标气通道（d），其输出端与三通电磁阀的输入端连接。6、根据权利要求1、2或5所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：该自动配制装置还包括一个报警单元（7），所述报警单元（7）与PLC控制器（6）连接。7、根据权利要求6所述的高纯混合气自动配制装置，其特征在于：所述报警单元（7）为一蜂鸣器或声光报警器。