高纯度混合气体配制系统

摘要

本实用新型公开了一种高纯度混合气体配制系统，包括分别与第一供气单元、第二供气单元、分析单元和计量单元连接的气体混合单元；所述第一供气单元包括依次连接的气体集装格、减压装置和过滤装置；所述第二供气单元包括依次连接的低温液体贮槽、汽化器、减压装置和过滤装置；所述第一供气单元中的过滤装置和第二供气单元中的过滤装置均与气体混合单元连接。供气公司直接将高纯气体用低温液体形式给客户供应，客户用该高纯度混合气体配制系统在车间就能够完成两种高纯度气体的现场混制，解决长期以来因运输力、生产能力和材料供应等影响客户正常生产的问题，同时还有效地降低了公司的在供气这块的成本投入。

主权项

一种高纯度混合气体配制系统，其特征在于：包括分别与第一供气单元、第二供气单元、分析单元和计量单元连接的气体混合单元；所述第一供气单元包括依次连接的气体集装格、减压装置和过滤装置；所述第二供气单元包括依次连接的低温液体贮槽、汽化器、减压装置和过滤装置；所述第一供气单元中的过滤装置和第二供气单元中的过滤装置均与气体混合单元连接。