用于丝网印刷的短热力曲线炉

摘要

本发明涉及用于丝网印刷的短热力曲线炉。本发明提出了一种用于有效干燥基板表面的沉积材料的设备和方法。本文所述的设备和方法有益于移除基板表面上沉积材料的溶剂型材料。在一些情况下，所述材料可以丝网印刷工艺沉积而得。在一个实施例中，丝网印刷腔室适应于在结晶硅基板上沉积图案化材料，接着在干燥腔室中干燥沉积材料。在一个实施例中，丝网印刷腔室和干燥腔室均设在旋转线工具或购自Baccini S.p.A.的SoftlineTM工具内，所述Baccini S.p.A.为美国加州圣克拉拉的应用材料公司所拥有。

主权项

一种用于处理基板的设备，所述设备包括：第一输送装置，用以传送一或多个基板通过处理区，所述处理区域被部分地围住，其中所述一或多个基板沿第一方向被传送通过所述处理区域；辐射热传构件，用以传递一或多个波长的电磁能至位于所述第一输送装置上的所述一或多个基板；以及对流热传构件，包括：气室，内设加热组件；以及流体输送装置，用以使气体移动经过设置在所述气室内的所述加热组件，且以与第一方向相反的第二方向引导所述气体通过所述处理区内位于所述第一输送装置上的一或多个基板中每一个的表面。