测辐射热计

摘要

本实用新型涉及测辐射热计（10），其包括：基底（12）；通过去除基底（12）上的第一牺牲层（14）形成的第一膜（16），所述第一膜（16）包括用于测量入射电磁辐射（R）的量的测量元件（18）；通过去除所述第一膜（16）上的第二牺牲层（20）形成的第二膜（22），所述第二膜（22）包封所述第一膜（16）；在所述基底（12）和所述第一膜（16）之间形成的第一腔（24）；以及在所述第一膜（16）和所述第二膜（22）之间形成的第二腔（26）。本实用新型还涉及制造测辐射热计的方法、以及热记录图像传感器和医学设备。

主权项

一种测辐射热计（10），其包括： ‑基底（12）； ‑通过去除所述基底（12）上的第一牺牲层（14）形成的第一膜（16），所述第一膜（16）包括用于测量入射电磁辐射（R）的量的测量元件（18），以及 ‑在所述基底（12）和所述第一膜（16）之间形成的第一腔（24）， 其特征在于，所述测辐射热计还包括： ‑通过去除所述第一膜（16）上的第二牺牲层（20）形成的第二膜（22），所述第二膜（22）包封所述第一膜（16），以及 ‑在所述第一膜（16）和所述第二膜（22）之间形成的第二腔（26）。