发明名称 |
调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的方法及系统 |
摘要 |
本发明提供一种调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的方法和系统,包括:获得具有停留时间限制的当前工艺阶段,获得当前工艺阶段的规定停留时间、产能、当前等待生产的产品数目;获得当前工艺阶段的最大停留时间;若所述最大停留时间大于规定停留时间,则减小前一工艺阶段的产能,反之,预计增大前一工艺阶段的产能之后的当前工艺阶段的预计最大停留时间,若所述预计最大停留时间小于等于规定停留时间,则增大前一工艺阶段产能,反之,则维持前一工艺阶段的产能。本发明能够实现对相关工艺阶段产能的自动调整,平衡各工艺阶段之间的产能,从而避免良率的影响,达到产能和品质的双赢。 |
申请公布号 |
CN103227128A |
申请公布日期 |
2013.07.31 |
申请号 |
CN201310156474.0 |
申请日期 |
2013.04.28 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
朱陆君;倪棋梁;龙吟;陈宏璘;王洲男 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
陆花 |
主权项 |
一种调整具有停留时间限制的工艺阶段产能的方法,其特征在于,包括:获得具有停留时间限制的当前工艺阶段,获得当前工艺阶段的规定停留时间、产能、当前等待生产的产品数目;基于所述当前工艺阶段的规定停留时间、产能、当前等待生产的产品数目,获得当前工艺阶段的最大停留时间;若所述最大停留时间大于规定停留时间,则减小前一工艺阶段的产能,反之,预计增大前一工艺阶段的产能之后的当前工艺阶段的预计最大停留时间,若所述预计最大停留时间小于等于规定停留时间,则增大前一工艺阶段产能,反之,则维持前一工艺阶段的产能。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号 |