改进的瓶装高纯气体充装系统

摘要

本实用新型公开了一种改进的瓶装高纯气体充装系统，包括灌装瓶、充装排、安装在充气排入口处的充装阀、与设置在充装阀和第一个灌装瓶之间的充装排上的采样点连接的杂质分析装置及设置在采样点和成分分析装置之间的真空泵。该充装系统设置的真空泵对灌装瓶进行抽真空处理后，经充装排加入一定量的高纯气体，用杂质分析装置对灌装瓶内的氧和水含量进行测量，省去了充装前的空瓶底气检验工序，减少了置换灌装瓶内的高纯气体用量，有效地节约了高纯气体资源、提高了生产效率、降低了生产成本。

主权项

一种改进的瓶装高纯气体充装系统，包括灌装瓶（1）、充装排（2）和安装在充气排（2）入口处的充装阀（21）；其特征在于：还包括与设置在充装阀（21）和第一个灌装瓶（1）之间的充装排（2）上的采样点连接的杂质分析装置（4）以及设置在采样点和充装阀（21）之间的真空泵（3）。