一种基于超声驻波的气敏传感器防尘保护装置

摘要

本实用新型涉及一种基于超声驻波的气敏传感器防尘保护装置，属于敏感技术防护领域。气敏传感器防尘保护装置包括半开放式腔体、气敏传感器和超声换能器，半开放式腔体由第一侧面、第二侧面和底面围成，第一侧面、第二侧面和底面均为金属材料的薄板；其中第一侧面为声辐射面，第二侧面为声反射面，第一侧面和第二侧面相平行，它们之间的距离为（2m+1）λ/4，其中λ为超声波的波长，m为自然数，第一侧面外侧设有超声换能器。本实用新型可有效降低气敏传感器表面附近悬浮微粒的浓度，减少微粒在气敏传感器表面的积累，从而延长气敏传感器的使用时间。

主权项

一种基于超声驻波的气敏传感器防尘保护装置，其特征在于：气敏传感器防尘保护装置包括半开放式腔体（1）、气敏传感器（5）和超声换能器（6），半开放式腔体（1）由第一侧面（2）、第二侧面（3）和底面（4）围成，其中第一侧面（2）为声辐射面，第二侧面（3）为声反射面，第一侧面（2）和第二侧面（3）相平行，它们之间的距离为（2m+1）λ/4，其中λ为超声波的波长，m为自然数，第一侧面（2）外侧设有超声换能器（6）,气敏传感器（5）设置在超声驻波的波腹处。