| 摘要 |
Метод интерферометрического контроля на рабочей длине волны качества изображения и дисторсии оптических систем, включающий формирование излучения на рабочей длине волны, освещение тест-объекта, расположенного в предметной плоскости исследуемого объектива, прохождение излучения через исследуемый объектив, регистрацию искажений в изображении тест-объекта, обработки полученной информации и юстировки исследуемого объектива, отличающийся тем, что формирование излучения осуществляют интерферометром в виде гомоцентрического пучка лучей, центр которого является тест-объектом, и его совмещают с предметной плоскостью исследуемого объектива, после прохождения исследуемого объектива происходит отражение пучка лучей от контр-зеркала, которое обеспечивает условие падения лучей по нормали и возврат их через объектив обратно в интерферометр, где происходит сложение пучка лучей с эталонным волновым фронтом интерферометра и регистрация интерферограмм, определение искажения волнового фронта пучка лучей, дважды прошедшего через исследуемый объектив, при этом определяют положение центра пучка лучей, формируемых интерферометром, и контр-зеркала для каждой отдельной точки поля, и при определении волновых аберраций и дисторсии по всему полю изображения и глубине фокуса, данный, цикл действий повторяют для нескольких требуемых взаимно согласованных положений интерферометра и контрзеркала. |
