| 摘要 |
1. Микромеханический гироскоп, содержащий корпус, выполненный в виде платы из диэлектрического материала, первую, вторую, третью и четвертую идентичные инерционные массы, каждая из которых выполнена в виде прямоугольной пластины из кремния, расположена с зазором относительно платы и связана с ней упругими перемычками, образующими упругий подвес, допускающий колебательные движения каждой из инерционных масс вдоль первой и вдоль второй взаимно перпендикулярных осей, электростатический вибропривод, содержащий подвижные и неподвижные элементы, блок электроники, первый и второй датчики выходного сигнала, содержащие подвижные и неподвижные элементы, первый и второй электростатические датчики силы, содержащие подвижные и неподвижные элементы, первый, второй, третий и четвертый датчики положения инерционных масс, содержащие подвижные и неподвижные элементы, отличающийся тем, что упругий подвес выполнен в виде наружного контура, состоящего из замкнутой цепи чередующихся между собой четырех коромысел и четырех балок, связанных между собой упругими петлеобразными перемычками, при этом на внешней стороне каждой из четырех балок размещен подвижный элемент вибропривода, а на внутренней стороне каждой из четырех балок размещен подвижный элемент соответствующего датчика положения инерционной массы, и внутреннего контура, выполненного в виде квадратной упругой рамки, первая и третья вершины которой через упругие перемычки связаны с внешней стороны рамки с анкерами, а с внутренней стороны рамки с подвижными элементами первого и второго датчика выходного сигнала соответственно, а вторая и четвертая вершины рамк |
