| 摘要 |
<p>L'invention se rapporte à un procédé de microgravure profonde par plasma d'un objet en titane, selon lequel on le grave alternativement à l'aide d'un premier plasma constitué d'au moins une première espèce chimique, puis d'un second plasma constitué d'au moins une seconde espèce chimique, caractérisé par le fait que ladite première espèce chimique est à base de chlore, tandis que la seconde est à base de fluor.</p> |
