发明名称
摘要 The present invention relates to a method for covering Atomic Force Microscopy (AFM) tips by depositing a material in the form of nanoparticles with an aggregate source.
申请公布号 JP2013530390(A) 申请公布日期 2013.07.25
申请号 JP20130509581 申请日期 2011.05.04
申请人 发明人
分类号 G01Q60/42 主分类号 G01Q60/42
代理机构 代理人
主权项
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