TURBOMOLECULAR PUMP

摘要

Eine Turbomolekularpumpe weist in einem Gehäuse (16) ein Rotorelement (18) auf. Das Rotorelement (18) ist auf einer Rotorwelle (10) angeordnet. Die Rotorwelle (10) ist über zwei Lagerelemente (12, 14) in dem Gehäuse (16) gelagert. Das hochvakuumseitige Lagerelement (12) ist als Wälzlager ausgebildet. Um im Bereich des Lageelements (12) einen für das als Wälzlager ausgebildete Lagerelement (12) akzeptablen Druck zu gewährleisten, ist das Lagerelement (12) in einer Kammer (36) angeordnet. Diese ist über einen Kanal (46) mit dem Vorvakuumbereich (38) verbunden und über eine Dichtung gegenüber dem Hochvakuumbereich (34) abgedichtet.