检查装置、处理装置、信息处理装置以及对象制造装置

摘要

本发明涉及检查装置、处理装置、信息处理装置以及对象制造装置。一种检查装置包括检测器、发送器以及接收器。检测器被配置为检测由处理装置处理的对象是否具有缺陷。发送器被配置为向处理装置发送关于通过检测器检测的缺陷的缺陷信息。接收器被配置为在处理装置基于对应于缺陷信息的解决措施信息执行解决处理且发送关于解决处理的内容的内容信息时接收发送的内容信息。

主权项

一种检查装置，包括：检测器，被配置为检测由处理装置处理的对象是否具有缺陷；发送器，被配置为将关于通过所述检测器检测的所述缺陷的缺陷信息发送至所述处理装置；以及接收器，被配置为在所述处理装置基于对应于所述缺陷信息的解决措施信息执行解决处理并发送关于所述解决处理的内容的内容信息时接收所发送的内容信息。