发明名称 |
一种超小绒面太阳电池及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种超小绒面太阳电池及其制备方法,该方法包括:清洗硅衬底;在硅衬底表面生长金属镍薄膜;对表面具有金属镍薄膜的硅衬底进行退火,使得金属镍薄膜形成密集排列的镍纳米颗粒;将形成镍纳米颗粒的硅衬底放入HF/H2O2混合溶液中腐蚀,形成超小绒面,并清洗去除镍纳米颗粒;对具有超小绒面的硅衬底进行扩散、清洗和刻边,在超小绒面之下的硅衬底内部形成PN结;在硅衬底具有超小绒面的表面依次生长氧化硅和氮化硅,形成叠层钝化;采用丝网印刷来完成前后电极的制作。本发明采用镍作为诱导金属,代替传统的金、银、铂等贵重金属,极大地降低了成本,镍相对容易去除,同时在硅中造成的杂质复合影响小于银等重金属,有利于提高电池效率。 |
申请公布号 |
CN103219426A |
申请公布日期 |
2013.07.24 |
申请号 |
CN201310122736.1 |
申请日期 |
2013.04.10 |
申请人 |
中国科学院微电子研究所 |
发明人 |
贾锐;窦丙飞;陈晨;金智;刘新宇 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
任岩 |
主权项 |
一种制备超小绒面太阳电池的方法,其特征在于,包括:清洗硅衬底;在硅衬底表面生长金属镍薄膜;对表面具有金属镍薄膜的硅衬底进行退火,使得金属镍薄膜形成密集排列的镍纳米颗粒;将形成镍纳米颗粒的硅衬底放入HF/H2O2混合溶液中腐蚀,形成超小绒面,并清洗去除镍纳米颗粒;对具有超小绒面的硅衬底进行扩散、清洗和刻边,在超小绒面之下的硅衬底内部形成PN结;在硅衬底具有超小绒面的表面依次生长氧化硅和氮化硅,形成叠层钝化;以及采用丝网印刷来完成前后电极的制作,最后烧结完成电池制备。 |
地址 |
100083 北京市朝阳区北土城西路3号 |