一种万向气体支撑机构

摘要

本发明公开了一种新型万向气体支撑机构，包括：基板，内部加工有通气管道。基板上规则排布有万向气体支撑柱阵列；所述万向气体支撑柱包括：球体；上部设有与外部连通的球冠腔室且内部设有贯通通孔同时下部与基板通气管道联接的柱体，所述球体置于所述球冠腔室内。根据本发明的新型气体支撑机构，输入气体通过基板通气管道及万向气体支撑柱内通孔，输入球冠腔室，使球体浮起，起到支撑作用；同时，球体可以任意方向转动，使球体和工件之间摩擦为滚动摩擦，降低相对位移时摩擦造成的磨损；球体材质可具有弹性，进一步降低了接触工件出现位移时由摩擦造成的损伤，同时可以提供精确设定压力。

主权项

一种万向气体支撑机构，其特征在于，包括:基板，内部加工有通气管道；万向气体支撑柱阵列，排布在基板上，所述万向气体支撑柱包括球体、支撑柱体。