一种准分子激光器的温度控制系统

摘要

本发明公开了一种用于准分子激光器的温控系统，温控系统包括放电腔的腔体温控系统、磁压缩器的水冷装置、固体开关的水冷装置、主管道和多个支管道，所述腔体温控系统包括温度传感器、控制器和热交换器、热交换器的提供冷却水的管道以及设置于所述管道上的流量控制器；温度传感器实时监测所述放电腔内的气体温度，并把温度数据传送给所述控制器，控制器产生控制信号并将控制信号发送给所述流量控制器，流量控制器根据控制信号对冷却水流量进行自动调节，完成对所述放电腔内气体温度的控制。本发明能自动、精确的控制激光器各部件的温度，提高了激光器的能量转换效率、工作稳定性和使用寿命。

主权项

一种用于准分子激光器的温控系统，所述准分子激光器包括放电腔、磁压缩器和固体开关，所述温控系统包括所述放电腔的腔体温控系统、所述磁压缩器的水冷装置、所述固体开关的水冷装置、主管道和多个支管道，其中， 所述主管道分别连接于各支管道，各支管道包括所述腔体温控系统的水冷管道、磁压缩器的水冷装置的水冷管道，以及固体开关的水冷管道；所述主管道与一水冷机进行连接，用于为整个温控系统提供冷却水；其特征在于： 所述腔体温控系统包括温度传感器、控制器和热交换器、所述热交换器的提供冷却水的管道以及设置于所述管道上的流量控制器； 所述温度传感器实时监测所述放电腔内的气体温度，并把温度数据传送给所述控制器，所述控制器根据所述温度数据，并结合其内部存储的目标温度值进行逻辑运算，产生控制信号并将控制信号发送给所述流量控制器，所述流量控制器根据接收到的控制信号对冷却水流量进行自动调节，从而完成对所述放电腔内气体温度的控制。