曝光装置

摘要

本发明提供一种曝光装置，通过将曝光光经由液体照射在基板上而将所述基板曝光，其中，具备：投影光学系统；以及计测装置，具有设置在所述投影光学系统的像面侧的光透过部，以及经由该光透过部而接收通过了所述投影光学系统的曝光光的光接收器，所述计测装置的光接收器，在所述投影光学系统和所述光透过部之间没有液体的状态下，接收通过了所述光透过部以及投影光学系统的曝光光。

主权项

一种曝光装置，利用曝光光经由液体对基板曝光，其中，具备：投影光学系统；以及计测装置，具有：光透过部，设置在所述投影光学系统的像面侧，并且使来自上述投影光学系统的曝光光经由液体入射；光接收器；以及光学部件，使透射过所述光透过部的所述曝光光入射到所述光接收器；所述光学部件在外周反射不通过气体而从所述液体透过所述光透过部入射到该光学部件的内部的所述曝光光，该光接收器检测在所述光学部件的内部反射的所述曝光光。