沉积设备以及旋转装置

摘要

本发明涉及沉积设备，该沉积设备包括反应腔，所述反应腔内具有用于带动衬底旋转的旋转台；旋转装置，用于带动所述旋转台转动，所述旋转装置包括：支撑座、筒状外壳以及旋转支撑轴，所述筒状外壳一端连接所述支承座上，另一端连接所述反应腔，所述旋转支撑轴套设在所述筒状外壳内，所述旋转支撑轴的一端伸入到所述反应腔中，并给予所述反应腔中的所述旋转台固定连接，所述旋转支撑轴用以带动所述旋转台转动，所述旋转支撑轴的另一端通过轴向轴承连接于所述支撑座上。本发明还提供一种旋转装置。本发明的所述旋转支撑轴仅通过一轴向轴承连接在所述支撑座上，可以使得调节所述旋转台的水平方便、快捷。

主权项

一种沉积设备，所述沉积设备包括：反应腔，所述反应腔内具有用于带动衬底旋转的旋转台；旋转装置，用于带动所述旋转台转动，所述旋转装置包括：支撑座；筒状外壳，其一端连接所述支承座上，另一端连接所述反应腔；以及旋转支撑轴，其套设在所述筒状外壳内，所述旋转支撑轴的一端伸入到所述反应腔中，并给予所述反应腔中的所述旋转台固定连接，所述旋转支撑轴用以带动所述旋转台转动，其特征在于：所述旋转支撑轴的另一端通过轴向轴承连接于所述支撑座上。