激光束引导的液滴靶控制系统

摘要

一种激光束引导的液滴靶控制系统，包括液滴喷嘴、高功率泵浦激光器、第三聚焦透镜和延时脉冲发生器，其特点在于还包括激光光源、第一反射镜、半波片、布儒斯特角偏振片、四分之一波片、第二反射镜、第一聚焦透镜、真空管、第二聚焦透镜、环形平面反射镜和环形聚焦透镜。本发明能精确控制20微米量级的金属液滴的下落轨迹，并可调节液滴下落速度，该系统工作长期稳定，确保液滴与高功率泵浦激光的时间同步和空间重合。

主权项

一种激光束引导的液滴靶控制系统，包括液滴喷嘴（8）、高功率泵浦激光器（21）、第三聚焦透镜（22）和延时脉冲发生器（23），其特征在于还包括激光光源（10）、第一反射镜（11）、半波片（12）、布儒斯特角偏振片（13）、四分之一波片（14）、第二反射镜（15）、第一聚焦透镜（16）、真空管（17）、第二聚焦透镜（18）、环形平面反射镜（19）和环形聚焦透镜（20），上述元部件的位置关系如下：沿所述的激光光源（10）输出的激光方向依次是第一反射镜（11）、半波片（12）、布儒斯特角偏振片（13）、四分之一波片（14）、第二反射镜（15）、第一聚焦透镜（16）、真空管（17）、第二聚焦透镜（18）、环形平面反射镜（19）和环形聚焦透镜（20），所述的第一反射镜（11）、第二反射镜（15）和环形平面反射镜（19）分别与光路成45°，所述的延时脉冲发生器（23）的输出端分别与所述的液滴喷嘴（8）、激光光源（10）和高功率泵浦激光器（21）的控制端相连，在所述的延时脉冲发生器（23）产生同步时钟电信号的控制下，所述的液滴喷嘴（8）、激光光源（10）和高功率泵浦激光器（21）协同工作，所述的激光光源（10）输出的激光经所述的第一反射镜（11）、半波片（12）、布儒斯特角偏振片（13）、四分之一波片（14）、第二反射镜（15）、第一聚焦透镜（16）、真空管（17）、第二聚焦透镜（18）、环形平面反射镜（19）反射后垂直向上形成环形激光束，经所述的环形聚焦透镜（20）在所述的液滴喷嘴（8）的正下方的焦点聚焦形成焦斑光势阱，与自所述的液滴喷嘴（8）下落的液滴发生相互作用，使液滴受到光辐射力的牵引，当液滴下落到焦点工作区时，所述的高功率泵浦激光器（21）输出的泵浦激光经所述的第三聚焦透镜（22）汇聚照射所述的液滴，形成等离子体并受激辐射13.5nm波长极紫外光。