| 摘要 |
<p>Monokrystalický výchozí kremíkový plátek (1) je predem dopovaný alespon jedním prvkem ze skupiny, zahrnující bor, fosfor, arsen a antimon, v mnozství od 0 do 2,0.10.sup.21.n.atomu v jednom cm.sup.3.n.materiálu výchozího monokrystalického kremíkového plátku (1). Výchozí kremíkový plátek (1) je rovinný a vykazuje rovinnost pod 10 .mi.m. Výchozí kremíkový plátek (1) má tloustku pod 0,8 mm; krystalografickou orientaci <100> nebo <111>; strední hodnotu mikrodrsnosti R.sub.a.n.povrchu mensí nez R.sub.a.n.= 0,6 nm na funkcní odrazové plose. Výsledný kremíkový plátek (10) má presný optický tvar funkcního odrazového povrchu s odchylkou od pozadovaného tvaru pod 20 .mi.m a vysokou optickou kvalitu se strední hodnotou mikrodrsnosti R.sub.a.n.pod 1,0 nm, s výhodou pod 0,4 nm. Výchozí kremíkový plátek (1) má s výhodou merný elektrický odpor 5.10.sup.-3.n.az 185.10.sup.3.n.k?.cm. Výsledný kremíkový plátek (10) má tvar válcový, kulovitý, parabolický ci paraboloidní, hyperbolický ci hyperboloidní, eliptický ci elipsoidní nebo kuzelovitý.</p> |
