| 发明名称 | 精密测长机及其光量干涉排除方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种精密测长机及其光量干涉排除方法和装置。在量测前，光量干涉排除装置调节当前量测点位的反射输入光量直至测得的反射输出光量等于目标反射输出光量值，得到补正反射输入光量值，其中所有量测点位的目标反射输出光量值均相等；和/或调节当前量测点位的透射输入光量直至测得的透射输出光量等于目标透射输出光量值，得到补正透射输入光量值，其中所有量测点位的目标透射输出光量值均相等。然后，光量干涉排除装置将得到的当前量测点位的补正反射输入光量值和/或补正透射输入光量值保存在量测参数集合中。 | ||
| 申请公布号 | CN103217107A | 申请公布日期 | 2013.07.24 |
| 申请号 | CN201310106348.4 | 申请日期 | 2013.03.29 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 黄文德;张岳妍;朱厚毅 |
| 分类号 | G01B11/02(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人 | 蔡晓红;林俭良 |
| 主权项 | 一种精密测长机光量干涉排除方法，其特征在于，在量测前执行以下步骤：调节当前量测点位的反射输入光量直至测得的反射输出光量等于目标反射输出光量值，得到补正反射输入光量值，其中所有量测点位的目标反射输出光量值均相等；将所述当前量测点位的补正反射输入光量值保存在量测参数集合中；和/或调节当前量测点位的透射输入光量直至测得的透射输出光量等于目标透射输出光量值，得到补正透射输入光量值，其中所有量测点位的目标透射输出光量值均相等；将所述当前量测点位的补正透射输入光量值保存在量测参数集合中。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 | ||