一种影像传感器

摘要

本实用新型涉及一种感光元件，具体的是一种影像传感器。它包括硅晶圆，所述硅晶圆上附着有蒸汽氧化物，所述蒸汽氧化物上有高介质层，所述高介质层上附着有金属遮蔽层，所述金属遮蔽层上附着有滤光片及透光镜，其特征在于，还包括热膨胀缓冲层，所述热膨胀缓冲层位于所述蒸汽氧化物和所述高介质层之间，所述膨胀缓冲层附着在所述蒸汽氧化物上。在所述蒸汽氧化物和所述高介质层之间增加了热膨胀缓冲层，使本实用新型在外界温度产生变化的时候，所述蒸汽氧化物和所述高介质层之间有一个热缓冲的过渡，较好的解决了薄膜脱落的问题。

主权项

一种影像传感器，包括硅晶圆，所述硅晶圆上附着有蒸汽氧化物，所述蒸汽氧化物上有高介质层，所述高介质层上附着有金属遮蔽层，所述金属遮蔽层上附着有滤光片及透光镜，其特征在于，还包括热膨胀缓冲层，所述热膨胀缓冲层位于所述蒸汽氧化物和所述高介质层之间，所述膨胀缓冲层附着在所述蒸汽氧化物上。