发明名称 |
一种精密定位一维平台 |
摘要 |
本发明提出了一种精密定位一维平台,包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台,所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器,所述定位平台与所述压电驱动器连接。本发明在音圈电机实现高加速、高速和长行程的同时,通过压电驱动器补偿音圈电机的误差,同时通过缓冲减振台来消除音圈电机的在运动过程中的振动,最终实现高加速、高速、长行程和超精密定位的一维运动。 |
申请公布号 |
CN103219049A |
申请公布日期 |
2013.07.24 |
申请号 |
CN201310068434.0 |
申请日期 |
2013.03.04 |
申请人 |
东莞华中科技大学制造工程研究院 |
发明人 |
张璐凡;隆志力;方记文;念龙生;李泽湘 |
分类号 |
G12B5/00(2006.01)I |
主分类号 |
G12B5/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 |
代理人 |
郑自群 |
主权项 |
一种精密定位一维平台,其特征在于:包括运动机构、与所述运动机构连接的定位平台,所述运动机构包括电机、设置于所述电机上的连接架和设置于所述连接架上的压电驱动器,所述定位平台与所述压电驱动器连接。 |
地址 |
523808 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路1号 |