发明名称 感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷布线板的制造方法
摘要 本发明涉及一种感光性树脂组合物,其含有:具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元且分散度(重均分子量/数均分子量)为1.6以下的粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及增感色素。
申请公布号 CN103221887A 申请公布日期 2013.07.24
申请号 CN201180055210.5 申请日期 2011.11.15
申请人 日立化成株式会社 发明人 宫坂昌宏;远藤昌树;栉田昌孝;村松有纪子;锻治诚
分类号 G03F7/033(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;G03F7/029(2006.01)I 主分类号 G03F7/033(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 白丽;陈建全
主权项 一种感光性树脂组合物,其含有:具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元且分散度为1.6以下的粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及增感色素。
地址 日本东京