工件搬运机器人

摘要

一种工件搬运机器人。用于机器人与工件的加工系统，包括固定联接的基座组件，具有一个端部执行器的光输入的光传感器，其特征是：在所述处理腔室内产生光感，移动的端部执行器执行光输入，记录得到达光传感器的光量变化，在记录的信号中获得所期望的端部位置，光传感器包括一个光学发射器，激活的等离子体源，确定中心位置，在该位置的开口驻留端光沿路径输入端部执行器到达与第二路径相交的中心位置，达成旋转和扩展路径，结构系统中还包括一个光束传感器，确定越区切换的通过光束，更符合市场需求，使用前景更加广阔。

主权项

一种工件搬运机器人，用于机器人与工件的加工系统，包括固定联接的基座组件，具有一个端部执行器的光输入的光传感器，其特征是：在处理腔室内产生光感，移动的端部执行器执行光输入，记录得到达光传感器的光量变化。