发明名称 |
LOW-DOPANT POLYCRYSTALLINE SILICON CHUNK |
摘要 |
<p>The invention provides a polycrystalline silicon chunk having a concentration of 1-50 ppta of boron and 1-50 ppta of phosphorus at the surface.</p> |
申请公布号 |
CA2797300(A1) |
申请公布日期 |
2013.07.24 |
申请号 |
CA20122797300 |
申请日期 |
2012.11.29 |
申请人 |
WACKER CHEMIE AG |
发明人 |
WOCHNER, HANNS;KILLINGER, ANDREAS;PECH, REINER |
分类号 |
C30B29/06;C01B33/02 |
主分类号 |
C30B29/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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