发明名称 LOW-DOPANT POLYCRYSTALLINE SILICON CHUNK
摘要 <p>The invention provides a polycrystalline silicon chunk having a concentration of 1-50 ppta of boron and 1-50 ppta of phosphorus at the surface.</p>
申请公布号 CA2797300(A1) 申请公布日期 2013.07.24
申请号 CA20122797300 申请日期 2012.11.29
申请人 WACKER CHEMIE AG 发明人 WOCHNER, HANNS;KILLINGER, ANDREAS;PECH, REINER
分类号 C30B29/06;C01B33/02 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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