发明名称 半导体研磨盘清洗用刷
摘要 1.本外观设计产品的名称为半导体研磨盘清洗用刷。2.本外观设计产品的用途是,用于对研磨半导体材料的研磨盘的平板接触面进行清洗。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定主视图为最能表明设计要点的视图。5.后视图因与主视图相同所以省略;左视图因与右视图相同所以省略。6.各视图中在刷部示出的多个圆柱形是将多根刷毛聚在一起并简化示出的形状。
申请公布号 CN302510974S 申请公布日期 2013.07.24
申请号 CN201330046128.8 申请日期 2013.02.06
申请人 株式会社荏原制作所 发明人 筱崎弘行
分类号 15-05 主分类号 15-05
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 陈伟;金杨
主权项
地址 日本东京都