硅片清洗脱胶水池

摘要

本实用新型涉及一种硅片清洗脱胶水池，包括用于盛装热水的水池、硅片花篮；所述硅片花篮包括两块挡板和顶板，两块挡板顶部通过顶板连接固定，所述挡板两侧通过栏杆连接，挡板底部通过若干根底杆连接，所述栏杆和若干根底杆构成一盛装硅片的落料腔；所述水池的池口边铰接有池盖，所述池盖中间开有大小与硅片花篮的顶板相同的方孔；所述顶板可拆卸连接于池盖方孔处。本实用新型解决了传统方法脱胶产生的硅片易倾倒的问题，使得脱胶效果良好，而且操作简化，节约了脱胶时间，节约电的损耗，减少了硅片损失。

主权项

一种硅片清洗脱胶水池，其特征在于：包括用于盛装热水的水池（1）、硅片花篮（2）；所述硅片花篮（2）包括两块挡板（3）和顶板（10），两块挡板（3）顶部通过顶板（10）连接固定，所述挡板（3）两侧通过栏杆（4）连接，挡板（3）底部通过若干根底杆（5）连接，所述栏杆（4）和若干根底杆（5）构成一盛装硅片的落料腔（6）；所述水池（1）的池口边铰接有池盖（7），所述池盖（7）中间开有大小与硅片花篮（2）的顶板（10）相同的方孔（8）；所述顶板（10）可拆卸连接于池盖（7）方孔（8）处。