用于刻蚀触摸屏上以石墨烯为导电层的装置

摘要

本实用新型涉及用于刻蚀触摸屏上以石墨烯为导电层的装置，高频率短脉冲激光器的输出端布置有光闸，光闸的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端依次布置有动态聚焦镜和扫描场镜，扫描场镜正对于工作平台，工作平台的一侧安装有吹气装置，工作平台的另一侧安装有集尘装置。通过不同波长的高频率的脉冲激光器作为激光源，对不同触摸屏产品中以石墨烯为导电层材料进行激光蚀刻，使石墨烯导电层在高频率的短脉冲激光器的作用下气化而达到蚀除的目的，通过高精度动态聚焦镜和振镜配合，一次性实现蚀刻范围500mm×500mm，加工出无污染、线性稳定、功能完好的触摸屏电子产品。

主权项

用于刻蚀触摸屏上以石墨烯为导电层的装置，其特征在于：包括高频率短脉冲激光器、动态聚焦镜和扫描场镜，所述高频率短脉冲激光器是波长为266nm～1064nm、脉宽在100ps～50ns、频率在10kHz～200kHz的激光器，高频率短脉冲激光器的输出端布置有光闸，光闸的输出端设置有扩束镜，扩束镜的输出端布置有45度全反射镜，45度全反射镜的输出端依次布置有动态聚焦镜和扫描场镜，扫描场镜正对于工作平台，工作平台的一侧安装有吹气装置，工作平台的另一侧安装有集尘装置。