晶圆缺陷抽样检测系统及其方法

摘要

本发明公开了一种晶圆缺陷抽样检测系统其及方法，其特征在于：包括一控制系统，主要由控制单元、计数单元及存储单元构成，其方法为：控制系统内设置需要监控的机台列表，预设报警时间及停机时间，机台作业时间与报警时间比较，当作业时间大于报警时间，且未收到扫描站点发送的缺陷扫描数据时，抓取产品进入扫描站点，若该机台在运行未达到停机时间已获得缺陷扫描数据，则为该机台的作业时间清零；若该机台作业时间到达停机时间后，仍未收到缺陷扫描数据，则停机，直到获取缺陷扫描数据后重新运行，并为作业时间清零。本发明通过控制系统可对关键机台进行实时在线监控，保证产品的良品率，减少检测数量，减轻扫描站点的使用量，降低检测成本。

主权项

一种晶圆缺陷抽样检测系统，包括复数个机台及至少一个扫描站点，其特征在于：还包括一控制系统，该控制系统主要由MCU控制单元、计数单元及存储单元构成，所述MCU控制单元与每一机台运行控制端连接，并由所述计数单元计数作业时间T，每一所述扫描站点数据端与所述MCU控制单元连接，所述存储单元内预设对应每一机台的报警时间T1及停机时间T2。