用于使表面平坦化的组合物及方法

摘要

本发明提供用于平坦化或抛光表面的组合物及方法。一种组合物包含0.01重量%至20重量%的α-氧化铝颗粒，其中所述α-氧化铝颗粒具有200nm或更小的平均直径，且80%的所述α-氧化铝颗粒具有500nm或更小的直径；有机酸；腐蚀抑制剂；及水。另一组合物包含α-氧化铝颗粒；有机酸；三唑和苯并三唑的双重腐蚀抑制剂，其中三唑与苯并三唑的重量百分比之比为0.1至4.8；及水。

主权项

一种用于抛光在表面上具有含铜膜的基板的化学‑机械抛光组合物，其包含：(a)0.01重量%至20重量%的α‑氧化铝颗粒，其中所述α‑氧化铝颗粒具有100nm或更小的平均直径，且90%的所述α‑氧化铝颗粒具有200nm或更小的直径；(b)有机酸，其中所述有机酸选自丙二酸、丁二酸、己二酸、乳酸、苹果酸、柠檬酸、甘氨酸、天冬氨酸、酒石酸、葡萄糖酸、亚氨基二乙酸及反丁烯二酸；(c)腐蚀抑制剂，其中该腐蚀抑制剂为三唑和苯并三唑的混合物，且具有三唑与苯并三唑的重量百分比之比为0.1至4.4；及(d)水，其中所述抛光组合物具有4‑14的pH。