发明名称 一种在玻璃基板表面制备焦绿石相钛酸铋功能薄膜的方法
摘要 本发明提供了一种在玻璃基板表面制备焦绿石相钛酸铋功能薄膜的方法,包括以下步骤:1)在玻璃基板上制备OTS单层膜;2)以Bi、Ti摩尔比为(1.20~1.00)∶1配制前驱液;将Bi(NO3)3·5H2O溶于由乙二醇和乙二醇甲醚组成的混合溶液中,Ti(OC4H9)4溶于无水乙醇中,混合两溶液并搅拌均匀,保持溶液总浓度为0.05mol/L~0.10mol/L,滴加氨水调节pH值,配制成Bi2Ti2O7前驱液;3)将附着OTS单层膜的玻璃基板置于前驱液中获得非晶态薄膜;4)将非晶态薄膜在500-560℃保温2h以得到晶态焦绿石相Bi2Ti2O7薄膜。通过本方法可以制备出晶体结构发育完全、纯度高,表面光滑平整、均匀致密的Bi2Ti2O7薄膜。
申请公布号 CN102659400B 申请公布日期 2013.07.24
申请号 CN201210128351.1 申请日期 2012.04.27
申请人 陕西科技大学 发明人 夏傲;尹君;谈国强
分类号 B32B17/06(2006.01)I;C04B35/475(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;B32B18/00(2006.01)I 主分类号 B32B17/06(2006.01)I
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人 田洲
主权项 一种在玻璃基板表面制备焦绿石相钛酸铋功能薄膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:将玻璃基板依次用去离子水、无水乙醇和丙酮超声波洗涤10分钟,氮气吹干后于十八烷基三氯硅烷和甲苯的混合溶液中沉积30s~20min以获得OTS单层膜,随后在120℃下烘烤以除去表面残留溶液,然后再于紫外光下照射40~60min;十八烷基三氯硅烷(OTS)和甲苯的混合溶液中十八烷基三氯硅烷和甲苯的体积比为1:99;步骤2:将A mol Bi(NO3)3·5H2O溶于由等体积的乙二醇和乙二醇甲醚组成的混合溶液中,将B mol Ti(OC4H9)4溶于无水乙醇中,然后混合两溶液并搅拌均匀使溶液中Bi3+和Ti4+的总浓度为0.05mol/L~0.10mol/L,滴加氨水调节pH值为2.5,即得Bi2Ti2O7前驱液;A:B=(1~1.2):1;步骤3:将步骤1制备的附着OTS单层膜的玻璃基板置于步骤2配制好的Bi2Ti2O7前驱液中,通过液相沉积在50℃~70℃下沉积14h获得非晶态薄膜;步骤4:将干燥后的非晶态薄膜放入马弗炉,在500‑560℃保温2h以得到晶态焦绿石相Bi2Ti2O7薄膜。
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