用于蚀刻设备的上部电极

摘要

本发明用于蚀刻设备的上部电极，包括：铝基板，在所述铝基板上设有安装孔，所述安装孔的数量至少为一个；以及陶瓷气孔，所述陶瓷气孔设置在所述安装孔内。本发明用于蚀刻设备的上部电极取消了整块铝基板打孔的做法，在原先的工作气孔位置嵌入陶瓷气孔。由于陶瓷本身具有非常优异的绝缘性能和耐酸碱腐蚀等特点，加上陶瓷表面易加工成比较光滑平整的特性，使用本新型陶瓷孔电极可避免气孔内部因长期通过腐蚀性工作气体被腐蚀的缺点，满足工作气体均匀通过；之前的电极因气孔内壁阳极膜失效会经常更换、返修，采用本新型电极可极大提高运行周期，节省维护成本，并提升生产效率。

主权项

用于蚀刻设备的上部电极，其特征在于，包括：铝基板，在所述铝基板上设有安装孔，所述安装孔的数量至少为一个；以及陶瓷气孔，所述陶瓷气孔设置在所述安装孔内。