一种顶部籽晶泡生法生长大尺寸氟化物晶体的方法

摘要

本发明公开了一种顶部籽晶泡生法生长大尺寸氟化物晶体的方法，包括以下步骤：称量氟化物晶体和除氧剂粉末，混合后压成料块；对压成的块料进行干燥处理；将料块装入坩埚中，依次安装热场组件，并安装籽晶；抽真空，并升温化料，直至观察到料块熔化为止；下降籽晶使之接触熔化液面，使籽晶微熔，提拉籽晶杆，料块在籽晶上凝结生长；在晶体引晶结束后，降低功率进入放肩阶段，此阶段保持晶体旋转，同时保持晶体的提拉速度，晶体会随着向上的提拉过程直径逐渐放大，进入等径生长阶段，直至长晶结束；在晶体重量达到投料重量后，降温退火。本方法生长成本低，生长周期短；适合大尺寸氟化物晶体，真空生长，无氧杂质；生长过程可见可控，晶体质量高。

主权项

一种顶部籽晶泡生法生长大尺寸氟化物晶体的方法，其特征是，包括以下步骤：步骤1. 原料的预处理：   称量氟化物晶体和除氧剂粉末，混合均匀后压成料块；对压成的块料进行干燥处理；步骤2. 装料：装料过程在干燥洁净室中完成，将配制好的料块装入钨制坩埚中，并将热场组件依次安装，并安装籽晶；步骤3.抽真空，并升温化料，直至观察到料块熔化为止；步骤4.缩颈及引晶：下降籽晶使之接触熔化液面，控制温度高于晶体熔点使籽晶微熔，然后提拉籽晶杆在表面张力的作用下，料块在籽晶上凝结生长；步骤5.放肩及转肩：在晶体引晶结束后，降低功率进入放肩阶段，在此阶段保持晶体旋转，同时保持晶体的提拉速度，晶体会随着向上的提拉过程直径逐渐放大，在生长重量达到投料量的8%‑10%时停止晶体旋转，保持垂直提拉进入等径生长阶段；步骤6.等径生长阶段：该阶段生长速率恒定，停止晶体旋转，保持一定提拉速率，直至长晶结束；步骤7.降温退火：在晶体重量达到投料重量后，开始降温退火。