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发明名称
摘要
申请公布号	JP5245528(B2)	申请公布日期	2013.07.24
申请号	JP20080126581	申请日期	2008.05.14
申请人		发明人
分类号	H01L21/304;B08B1/04;B08B3/02;B08B6/00;B08B7/04	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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