具有环保加工的晶圆制造工艺

摘要

一种具有环保加工的晶圆制造工艺，将有瑕疵的整片晶圆进行加工，先将有瑕疵的破损(或完整片)晶圆进行切割，以形成数个独立的晶片，而依据所需的晶片厚度，于所述各晶片背面进行一预设厚度的研磨，再将研磨后具完整的晶片依序放置于载具的放置槽中，即完成。如此，可将原本被视为瑕疵难加工而欲丢弃的晶圆，再进行切割、研磨及挑选程序，使得具瑕疵晶圆之中仍具完整的晶片，可被再挑选出而被再利用，进而提高生产良率降低生产成本，同时减少晶圆废弃物的数量与增加晶圆利用率，以符合节能减炭及环保目的。

主权项

一种具有环保加工的晶圆制造工艺，其特征在于，包含以下步骤：具瑕疵的晶圆；将该晶圆进行切割，以形成数个独立的晶片；于所述各晶片背面进行一个预设厚度研磨；将研磨后具完整的晶片依序放置于载体。