静电吸盘及其制造方法

摘要

提供一种静电吸盘，能够减少从基板吸附面向基板的污染物附着，能够最优地保持基板的接触面积并且高效地进行经由静电吸盘的冷却。该静电吸盘将由弹性材料构成的具备多个凸部的弹性吸附层设为基板吸附面，并经由该弹性吸附层来吸附/保持基板，当将弹性吸附层中的凸部的高度设为h(m)，将基板吸附面中的单位面积上的凸部的数量设为n(个/m2)，将凸部中的顶面的面积设为A(m2)，形成凸部的弹性材料的弹性率设为E(Pa)，以吸附力F(Pa)来吸附/保持整体的平整度为Wh(m)的基板时，在吸附力F作用的方向上凸部收缩的量δ(m)满足下述关系式(1)，且基板吸附面中的单位面积上的凸部顶面的总面积的比例ξ为10％以上，5Wh≥δ≥0.5Wh，δ＝(h/nA)·(F/E)…(1)。

主权项

一种静电吸盘的制造方法，将由弹性材料构成的具备多个凸部的弹性吸附层设为基板吸附面，并经过由该弹性吸附层来吸附/保持基板，该静电吸盘的制造方法的特征在于，当将弹性吸附层中的凸部的高度设为h，将基板吸附面中的单位面积上的凸部的数量设为n，将凸部中的顶面的面积设为A，将形成凸部的弹性材料的弹性率设为E，以吸附力F来吸附/保持整体的平整度为Wh的基板时，以在吸附力F作用的方向上凸部收缩的量δ满足下面的关系式(1)的方式形成弹性吸附层，且将基板吸附面中的单位面积上的凸部顶面的总面积的比例ξ设为10％以上，5Wh≥δ≥0.5Wh，其中，δ＝(h/nA)·(F/E)  …(1)其中，各值的单位是各个括弧内所示的单位：Wh(m)、h(m)、n(个/m2)、A(m2)、E(Pa)、F(Pa)、δ(m)。