| 发明名称 | 一类含双支化硫鎓盐光生酸剂、制备方法及其应用 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一类含双支化硫鎓盐光生酸剂、制备方法及其应用。所述光生酸剂的R1为甲基、苄基、五氟代苄基或4-氰基苄基；R2为三氟甲烷磺酸根、六氟磷酸根、六氟锑酸根或四氟硼酸根。本发明的PAG适用于诸如365nm、385nm、405nm，425nm的紫外区到近可见光区成像的光刻胶光活性成分。此类光生酸剂合成步骤简单，易于提纯，产率高，在365nm～450nm区域内，此类光生酸剂用于光刻胶体系能制备出性能优良的光刻胶，体现出0.3以上的光生酸量子产率，光激发效率高，催化活性高。 | ||
| 申请公布号 | CN103217868A | 申请公布日期 | 2013.07.24 |
| 申请号 | CN201310086839.7 | 申请日期 | 2013.03.19 |
| 申请人 | 同济大学 | 发明人 | 金明;徐浩然;浦鸿汀;万德成 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;C07C381/12(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人 | 张磊 |
| 主权项 | 1.一种含双支化硫鎓盐光生酸剂，其特征在于为下述结构中任一种：<img file="705028DEST_PATH_IMAGE002.GIF" wi="589" he="204" />其中R<sub>1</sub>为甲基、苄基、五氟代苄基或4-氰基苄基中任一种；R<sub>2</sub><sup>－</sup>为阴离子。 | ||
| 地址 | 200092 上海市杨浦区四平路1239号 | ||