电极集电体制造方法和制造设备以及具有所述集电体的电池

摘要

一种制造电极集电体的设备(50)，其包含：腔(51)，腔的内部可减小压力；基材保持机构(55)，其对导电性基材(12)进行保持；气体引入机构(54)，其将氟气和惰性气体引入腔(51)。腔(51)中设置蚀刻部分(52)和碳膜形成部分(56a)、(56b)，蚀刻部分(52)对基材(12)的表面进行蚀刻，碳膜形成部分(56a)、(56b)在蚀刻后的基材(12)表面上形成碳膜。气体引入机构(54)被结构化为在腔中产生氟气与惰性气体以预定摩尔比混合的混合气氛。

主权项

一种制造用碳膜覆盖的电极集电体的方法，其特征在于包含：在腔(50)中布置导电性基材(12)；降低腔中的压力；在腔中产生含氟气体和惰性气体的混合气氛，在该气氛中对所布置基材的表面进行干法蚀刻；以及在干法蚀刻后的基材的表面上形成碳膜，其中，在同一腔中进行对基材表面的干法蚀刻以及形成碳膜，且其中，腔中含氟气体与惰性气体的混合比被调节为：使得通过形成碳膜而获得的碳膜中的氟浓度不大于10at％。