一种紫外光源均光装置

摘要

本实用新型涉及紫外-真空紫外辐射计量测试领域，具体的讲是一种紫外光源均光装置，包括复数个漫射器，驱动单元；每个所述的漫射器用于对特定波段的入射紫外光进行均光和聚焦；所述驱动单元用于根据测试的需要调节相应的漫射器位于光路中。通过本实用新型实施例，由于采用了工作于110nm-400nm紫外光波段范围的复数个漫射镜均光和聚焦，保证了以点光源或面光源作为紫外光源时的光谱辐照度校准既可以产生很好的余弦校正效应，又能保证系统的信噪比。

主权项

一种紫外光源均光装置，其特征在于包括：复数个漫射器，驱动单元；每个所述的漫射器用于对特定波段的入射紫外光进行均光和聚焦；所述驱动单元用于根据测试的需要调节相应的漫射器位于光路中。