电子束流大小的导向控制装置

摘要

本实用新型公开了一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管，所述加速管的下端连接有扫描盒，所述加速管上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈，所述加速管与扫描盒的连接处设置有光阑板，所述光阑板的中心开有圆孔。本实用新型解决了现有技术中微安数量级的电子束大小调节困难，无法实现的问题，通过在原有装置的扫描盒与加速管之间加装一光阑板，并在光阑板的中心位置开一圆孔，通过控制导向线圈的电流调节电子束流通过圆孔的束流量，从而实现了对电子束流大小的控制，该装置结构简单，操作方便，且调节幅度大，可方便的将束流减少2个数量级。

主权项

一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管（1），所述加速管（1）的下端连接有扫描盒（7），其特征在于：所述加速管（1）上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈（3），所述加速管（1）与扫描盒（7）的连接处设置有光阑板（4），所述光阑板（4）的中心开有圆孔（41）。